Nb, Si, CdTe ва CaF 2 кристалларининг сирт ости қатламларида ион бомбардимон усулида ҳосил қилинган наноўлчамли структуралар шаклланишининг физик-технологик асослари ва электрон-оптик хусусиятлари
Ushbu doktorlik (DSc) dissertatsiyasi ilmiy ishida metallar, yarim o'tkazgichlar va dielektrik materiallar yuzasida va yaqin yuzaki qatlamlarda ion bombardimonlash va keyingi termik ishlov berish orqali nanostrukturalar va nanoqavatlar hosil bo'lishining fiziko-texnologik asoslari hamda ularning elektron-optik xususiyatlari tadqiq etiladi. Tadqiqot natijalari asosida yangi nanostrukturalar hosil qilishning optimal sharoitlari aniqlangan va amaliy tavsiyalar ishlab chiqilgan.
Asosiy mavzular
- Nanostrukturalarning hosil bo'lish mexanizmlari: Metallar, yarim o'tkazgichlar va dielektriklar yuzasida va yaqin yuzaki qatlamlarda ion bombardimonlash va termik ishlov berish orqali nanostrukturalar va nanoqavatlar hosil bo'lishining asosiy fiziko-texnologik qonuniyatlari va mexanizmlari o'rganiladi. Bunda turli xil energiyali va dozali ionlar bilan bombardimonlashning ta'siri tekshiriladi.
- Nanostrukturalarning elektron-optik xususiyatlari: Hosil qilingan nanostrukturalarning elektron va kristal tuzilishi, emissiya va optik xususiyatlari o'rganiladi. Bunda elektron spektroskopiya, atom kuchli mikroskopiya va boshqa zamonaviy usullardan foydalaniladi.
- Nanostrukturalar asosida yangi elektron qurilmalar yaratish: Olingan natijalar asosida zamonaviy qattiq jismlar elektronikasida foydalanish uchun yangi elektron qurilmalar yaratish bo'yicha ilmiy-texnik tavsiyalar ishlab chiqiladi.