Ko’p qatlamli strukturalarning parametrlarini aniqlashning sig’imli metodi

Ushbu ishda Al-SiO2-n-Si turidagi metall-dielektrik-yarimo'tkazgich (MDY) strukturalarning asosiy parametrlari, jumladan, yarimo'tkazgich materialning tipi, dielektrik qatlamning sig'imi va qalinligi, legirlovchi kirindining konsentrasiyasini aniqlash yo'llari ko'rib chiqilgan. Eksperimental va nazariy volt-farada (C-V) xarakteristikalar solishtirilib, Si-SiO2 bo'linish chegarasidagi sirtqi holatlar zichligi aniqlangan. Ishda MDY strukturalarining sirtqi holatlarga nisbatan chidamliligini oshirish bo'yicha ham fikrlar bildirilgan.

Asosiy mavzular

• MDY strukturalarning asosiy parametrlari va ularni aniqlash usullari: Bu mavzu MDY strukturalarning sirtqi holatlari, ularning C-V xarakteristikalarini o'rganish hamda bu parametrlarni aniqlash usullarini, jumladan, sig'imiy usullarni, xususan, yuqori chastotali C-V usulini batafsil yoritib beradi. Eksperimental va nazariy C-V xarakteristikalarini solishtirish orqali sirtqi holatlar zichligini aniqlash usullari ham ko'rsatib o'tilgan.
• Olingan natijalar va ularning tahlili: Bu bobda Al-SiO2-n-Si turidagi MDY strukturalarning eksperimental C-V xarakteristikasidan olingan ma'lumotlar asosida yarimo'tkazgich materialning tipi, dielektrik qatlamning sig'imi va qalinligi, legirlovchi kirindining konsentrasiyasi aniqlangan. Shuningdek, nazariy C-V xarakteristikasi hisoblanib, eksperimental natijalar bilan solishtirilgan va Si-SiO2 bo'linish chegarasidagi sirtqi holatlar zichligi hisoblangan.