"Qiyin eruvchi kirishmalarga ega kremniyning elektrofizik xossalarini o‘rganish"

Ushbu ishda yarimo'tkazgichli materiallar, xususan kremniyning elektrofizik xossalarini o'rganish, jumladan, Hf bilan legirlangan kremniyning IQ-yutilish spektrini o'rganish masalasi ko'rib chiqilgan. Tadqiqot davomida diffuziya usuli va o'stirish usuli qo'llanilib, har xil harorat va vaqtda amalga oshirilgan termik ishlovlarning kremniyning solishtirma qarshiligi va IQ-yutilish spektriga ta'sirini o'rganish asosiy o'rin tutdi. Natijalarda Hf atomlarining kremniyda akseptor xarakterga egaligi va termik ishlovning solishtirma qarshilikni ortishiga olib kelishi aniqlandi.

Asosiy mavzular

• Kremniyning parametrlari va ularga termik ishlovning ta'siri: Ushbu bo'limda kremniyning xossalari, unga termik ishlov berishning ta'siri, jumladan, turli harorat va vaqtlarda ishlov berish natijasida kremniyning tuzilishida va elektrofizik xossalarida yuzaga keladigan o'zgarishlar haqida nazariy ma'lumotlar berilgan. Jumladan, turli xil metallarning kremniyga ta'siri, ularning hosil qiladigan nuqsonlari va bu nuqsonlarning elektrofizik xossalarga ta'siri ko'rib chiqilgan.
• Namunalarni tadqiq qilish usullari va ularni tayyorlash texnologiyasi: Bu bo'limda tadqiqot ishlarida qo'llanilgan usullar, jumladan, chuqur sathli nuqsonlarni aniqlash uchun ishlatiladigan sig'imli usullar (IRS, DLTS, YoS), IQ-yutilish usuli, to'rt zondli usul va ularning nazariy asoslari hamda namunalarni tayyorlash texnologiyasi bayon etilgan.
• Gafniy bilan legirlangan kremniyning elektrofizik xossalarini o'rganish: Mazkur bo'limda gafniy bilan legirlangan kremniyning IQ-yutilish spektrini o'rganish, jumladan, diffuziya usuli va o'stirish usuli bilan legirlash natijasida olingan namunalarining xossalari, ularga turli temperaturalarda termik ishlov berishning ta'siri tadqiq etilgan. Xususan, Si<Hf> namunalarining solishtirma qarshiligining taqsimlanish profili va IQ-yutilish spektrining o'zgarishlari ko'rib chiqilgan.