Ион-имплантация қилинган кремний ва юпқа силицид плёнкаларда электронла рнинг плазмали тебранишларини уйғониши
Ushbu kitobda silikonning ion implantatsiyasi jarayoni va natijasida hosil bo'ladigan silitsid plyonkalarda elektronlarning plazma tebranishlari hamda ushbu holatlarni nazariy va eksperimental tahlil qilish masalasi ko'rib chiqilgan. Tadqiqotda ion implantatsiyasi natijasida silikon yuzasining o'zgarishlari, jumladan, uning elektr va kristall tuzilishi, shuningdek, plazmonlarning energiyasi va chastotasi o'zgarishlari o'rganilgan. Yangi vakuumli tozalash usuli taklif qilingan hamda turli usullar yordamida olingan natijalarni tahlil qilish asosida nazariy modellar ishlab chiqilgan.
Asosiy mavzular
- Silikonning ion implantatsiyasi: Kitobda silikon kristallariga natriy (Na+) va bariy (Ba+) ionlarini turli energiya va dozalarda implantatsiya qilish jarayoni, bu jarayon natijasida silikon yuzasida hosil bo'ladigan o'zgarishlar (amorf holatga o'tish, kristall tuzilishining o'zgarishi) batafsil ko'rib chiqilgan. Xususan, kritik doza, implantatsiya energiyasining ta'siri, amorphous qatlam hosil bo'lishi va uning xususiyatlari tahlil qilingan.
- Silitsid plyonkalarda elektronlarning plazma tebranishlari: Tadqiqotda ion implantatsiyasi natijasida silikonning valent elektronlarining yuzaki va hajmiy plazma tebranishlarining uyg'onishi, ularning energiyasi va chastotasining o'zgarishi (kamayishi) eksperimental va nazariy jihatdan o'rganilgan. Bu o'zgarishlarning sabablari, ya'ni elektr zanjirining o'zgarishi, nuqsonlar konsentratsiyasi va qattiq jismning holati bilan bog'liqligi tahlil qilingan.
- Silikonni vakuumli tozalashning yangi usuli: Kitobda silikon kristallari yuzasidagi aralashma atomlarini (S, O, C) olib tashlash uchun yangi, samaraliroq vakuumli tozalash usuli ishlab chiqilganligi va uning afzalliklari bayon etilgan. Ushbu usul ikki bosqichli termik ishlov berish va ion implantatsiyasini o'z ichiga oladi.
- Nazariy modellar va hisoblashlar: Tadqiqot natijalarini tahlil qilish asosida elektron gazining ikki suyuqlik modeli, Kelldish va Feynman diagrammalari kabi usullar yordamida nazariy modellar ishlab chiqilgan. Ushbu modellar asosida plazma tebranishlarining energiyasini kamayish effektini tushuntirishga urinilgan va nazariy hisoblashlar eksperimental natijalarni tasdiqlagan.