Суюқ фазадан эпитаксиал қатламларни ўстириш усули

Ushbu kitob yarimo'tkazgichli materiallarni suyuq fazadan epitaksial o'stirish usullarini o'rganadi. Unda epitaksiya jarayonining mohiyati, usullari, texnologiyalari va o'stirilgan qatlamlarning xususiyatlari batafsil yoritilgan. Kitobda kremniy va germaniyni o'stirish texnologiyasi, shuningdek, epitaksial qatlamlarning morfologiyasi va tarkibini tahlil qilish usullari ham ko'rib chiqilgan.

Asosiy mavzular

Epitaksiya usullari: Suyuq fazadan epitaksiya, gaz fazali epitaksiya va molekulyar-nur epitaksiyasi kabi usullarning nazariy asoslari va qo'llanilishi muhokama qilinadi. Har bir usulning afzalliklari va kamchiliklari ko'rsatilgan.
Epitaksial qatlamlarni o'stirish texnologiyasi: Epitaksial qatlamlarni o'stirish uchun ishlatiladigan qurilmalar, jarayonning asosiy bosqichlari va texnologik parametrlar (harorat, bosim, gaz oqimi tezligi va boshqalar) haqida ma'lumot beriladi.
Kremniy va germaniyni epitaksial o'stirish: Kremniy va germaniyni suyuq fazadan epitaksial o'stirish texnologiyasi batafsil ko'rib chiqiladi. Olingan qatlamlarning xususiyatlari va ularni yaxshilash usullari tahlil qilinadi.
Epitaksial qatlamlarning xususiyatlarini tahlil qilish: Epitaksial qatlamlarning morfologiyasi, tarkibi va elektr fizik xususiyatlarini tahlil qilish usullari (mikroskopiya, rentgen nurlari diffraktsiyasi, Hall effekti va boshqalar) muhokama qilinadi.