Влияние ионной имплантации на состояние поверхности пленок GaAs
Ushbu kitob GaAs (galliy arsenid) plenkalarining yuzasiga ion implantatsiyasining ta'sirini o'rganadi. Unda turli usullar, jumladan, tez elektron diffraktsiyasi (DHE), skanerlovchi elektron mikroskopiyasi (SEM) va energiyaga bog'liq koeffitsientlarni o'lchash orqali past energiyali ion implantatsiyasining topografik va kristall tuzilishiga ta'siri tahlil qilinadi. Mualliflar GaAs plenkalarining yuzasini tozalash uchun optimal haroratni, ion implantatsiyasining ta'sirini va keyingi tavlanishning kristall tuzilishiga ta'sirini o'rganadilar. Bundan tashqari, kitobda Ba, Ga va As atomlaridan tashkil topgan uch komponentli birikmalarning shakllanishi batafsil bayon etilgan. Mualliflar yuzani tozalash uchun optimal haroratni aniqlaydilar va aralashtirish, klaster shakllanishi va epitasial o'sish kabi jarayonlarni o'rganadilar. Ushbu kitob yarimo'tkazgichli materiallarning yuzasi bilan ishlash uchun uslublar bilan qiziquvchilarga mos keladi.
Asosiy mavzular
- Epitaksial tizimlar: Galliy arsenid asosidagi epitaksial tizimlarning kristall va elektron tuzilishi, qatlamlarni o'stirish va o'zgartirish usullari muhokama qilinadi.
- Ion implantatsiyasi: Ion implantatsiyasining GaAs plenkalarining yuzasiga ta'siri, atom aralashtirish, strukturaviy nuqsonlar va yangi birikmalarning shakllanishi ta'kidlangan.
- Yuzaki tozalash: GaAs/Ge (111) plenkalarini yuzasini tozalash uchun optimal haroratni aniqlash va aralashtirish jarayoni batafsil bayon etilgan.
- Yuzaki tarkibi va tuzilishi: Yuqori haroratli ishlov berishning tarkibi va tuzilishiga ta'siri, epitaksial plyonkalarning shakllanishi batafsil bayon etilgan.
- Past energiyali ion implantatsiyasi: Past energiyali ion implantatsiyasi usullaridan foydalanishning afzalliklari, klaster fazalarining shakllanish jarayoni va o'lchamlari batafsil bayon etilgan.
- Tavlanish: Tavlanish jarayonining ta'siri, uch komponentli birikmalarning (Ga-Ba-As) shakllanishi, qayta kristallanish jarayoni va yuzada hosil bo'ladigan fazalar tavsifi batafsil bayon etilgan.
- Xavfsizlik choralari: Lazer uskunalaridan foydalanish bilan bog'liq xavfsizlik choralari, lazerli ishlov berish xavfi va zararini minimallashtirish bo'yicha tavsiyalar berilgan.