Яримўтказгичларда атомлар диффузияси назарияси

Ushbu magistrlik dissertatsiyasi yarimo‘tkazgichlardagi atomlar diffuziyasi nazariy asoslariga bag‘ishlangan bo‘lib, bu sohadagi tadqiqotlar yarimo‘tkazgich materiallar va asboblar texnologiyasini rivojlantirish uchun muhim ahamiyatga ega ekanligi ta’kidlanadi. Dissertatsiyada kristallardagi nuqsonlar, diffuziya mexanizmlari, turli xil elementlarning diffuziya xususiyatlari va ularga ta’sir etuvchi omillar nazariy jihatdan ko‘rib chiqilgan. Shuningdek, kremniy monokristallarida kirishma atomlarning diffuziyasi, xususan, 3d-o‘tish elementlarining xatti-harakati batafsil tahlil qilingan. Tadqiqot natijalari yarimo‘tkazgichli asboblar ishlab chiqarishda qo‘llanilishi mumkin bo‘lgan amaliy ahamiyatga ega xulosalarni o‘z ichiga oladi.

Asosiy mavzular

• Kristallarda atomlar diffuziyasi nazariyasining asosiy belgilari: Ushbu bob kristallarda atomlar diffuziyasining termodinamik asoslari, diffuzion jarayonlar kinetikasi, mikroskopik nazariyasi va atomlar diffuziyasining nazariy asoslari ko'rib chiqiladi. Yarimo'tkazgichlarda birikmalar hosil bo'lishining kirishma atomlari diffuziyasiga ta'siri tahlil etiladi.
• Kristallarda atomlar diffuziyasi mexanizmlari: Ushbu bobda monokristallarda atomlarning suqulma diffuziya mexanizmi, metallarda va boshqa elementar kristallarda xususiy atomlar diffuziyasi, yarimo'tkazgichlarda diffuziyaning vakansiyali va dissotsiativ mexanizmlari batafsil yoritiladi.
• Kremniy monokristallarida kirishma atomlari diffuziyasi: Ushbu bobda kremniyda "sayoz" va "tez" holatli kirishma atomlari diffuziyasi, 3d-o'tish elementlari atomlarining kremniyda diffuziyasi va kremniy va germaniydagi kirishmalar diffuziyasining ayrim farqlari muhokama qilinadi.