Яримўтказгичларда атомлар диффузияси назарияси

Ushbu kitob yarimo'tkazgichlarda atomlarning diffuziyasi nazariyasiga bag'ishlangan. Unda kristall panjaralarda atomlarning harakati, diffuziya mexanizmlari va ularga ta'sir etuvchi omillar, xususan, nuqsonlar va muhit sharoitlari batafsil tahlil qilingan. Kitobda, shuningdek, kremniy va germaniydagi kirishmalar diffuziyasining o'ziga xos xususiyatlari ham ko'rib chiqilgan. Tadqiqot natijalari yarimo'tkazgichli asboblar ishlab chiqarish texnologiyalarini optimallashtirish uchun muhim ahamiyatga ega.

Asosiy mavzular

• Kristallarda atomlar diffuziyasi nazariyasining asosiy belgilari: Ushbu bobda kristallarda diffuziyaning termodinamik asoslari, diffuzion jarayonlar kinetikasi, diffuziyaning mikroskopik nazariyasi va atomlar diffuziyasining nazariy asoslari ko'rib chiqiladi. Shuningdek, yarimo'tkazgichlarda birikmalar hosil bo'lishining kirishma atomlari diffuziyasiga ta'siri ham tahlil etiladi.
• Kristallarda atomlar diffuziyasi mexanizmlari: Ushbu bobda monokristallarda atomlarning suqulma diffuziya mexanizmi, metallarda va boshqa elementar kristallarda xususiy atomlar diffuziyasi, yarimo'tkazgichlarda diffuziyaning vakansiyali va dissotsiativ mexanizmlari batafsil yoritiladi.
• Kremniy monokristallarida kirishma atomlari diffuziyasi: Ushbu bobda kremniyda 'sayoz' va 'tez' holatli kirishma atomlari diffuziyasi, 3d-o'tish elementlari atomlarining kremniydagi diffuziyasi va kremniy va germaniydagi kirishmalar diffuziyasining ayrim farqlari tahlil qilinadi.