Подготовка микрошлифов с покрытием различного состава
Ushbu hujjat - O'zbekiston Respublikasi oliy va o'rta maxsus ta'lim vazirligi tomonidan chop etilgan Toshkent davlat aviatsiya institutining dissertatsiyasi bo'lib, u turli xil tarkibdagi qoplamalar bilan mikrosxemalarni tayyorlashga bag'ishlangan. Unda magnetron purkashning tarkibi va qoplamalar xususiyatlariga ta'siri, qoplama olish usullari (purkash, cho'ktirish, plazma purkash), eksperimental tadqiqotlar o'tkazish metodologiyasi, jumladan, mikrosxemalarni tayyorlash, qoplama qalinligini aniqlash, mikroqattiqlikni aniqlash, fazaviy va kimyoviy tarkibni aniqlash, korroziyaga chidamlilikni aniqlash kabi masalalar ko'rib chiqiladi. Shuningdek, tadqiqotlar natijalari, xulosalar va foydalanilgan adabiyotlar ro'yxati keltirilgan.
Asosiy mavzular
- Magnetron purkashning qoplamalar tarkibi va xususiyatlariga ta'siri: Ushbu bo'limda ion purkash jarayonining texnologik parametrlarining qoplamalar tarkibi va xususiyatlariga ta'siri o'rganiladi. Qoplamalar asosi va ularning nitridlari va oksidlarining xususiyatlari tahlil qilinadi.
- Qoplama olish usullari: Bu bobda qoplamalar olishning turli usullari, jumladan, purkash usullari, cho'ktirish usullari va plazma purkash usullari batafsil ko'rib chiqiladi.
- Eksperimental tadqiqotlar metodologiyasi: Ushbu bo'lim eksperimental tadqiqotlar o'tkazish metodologiyasini, shu jumladan mikrosxemalarni tayyorlash, qoplama qalinligini aniqlash, mikroqattiqlikni aniqlash, fazaviy va kimyoviy tarkibni aniqlash va qoplamalarning korroziyaga chidamliligini aniqlash usullarini tavsiflaydi.
- Qoplamalarning fazoviy va kimyoviy tarkibini aniqlash: Ushbu mavzu qoplamalarning fazoviy va kimyoviy tarkibini aniqlash uchun Rentgen nurlari diffraktsiyasi va Auger elektron spektroskopiyasi kabi usullarni qo'llashni o'rganadi.
- Qoplamalarning korroziyaga chidamliligini aniqlash: Bu bo'lim qoplamalarning korroziyaga chidamliligini baholash usullarini, jumladan vizual baholash va turli eritmalarda korroziya testlarini muhokama qiladi.