Химическое травления полупроводниковых подложек

Ushbu kitob yarimo'tkazgichli qurilmalar va integral sxemalar texnologiyasi, xususan, yarimo'tkazgichli substratlarni kimyoviy yo'l bilan ishlov berish (etching) jarayonlariga bag'ishlangan. Unda substratlarni tayyorlashning texnologik jarayonlari, ularni ifloslanishdan tozalash usullari, kimyoviy va elektrokimyoviy etching usullari, shuningdek, turli materiallar (germaniy, kremniy, galliy arsenidi va karbid kremniy) uchun etching eritmalari va ularning xususiyatlari batafsil yoritilgan. Kitobda kimyoviy-dinamik ishlov berish usullari ham ko'rib chiqilgan.

Asosiy mavzular

Yarimo'tkazgichli substratlarni tayyorlash: Substratlarni tozalashning asosiy maqsadlari va texnologik jarayonlari, ifloslanish turlari va ularni bartaraf etish usullari.
Kimyoviy etching: Kimyoviy etchingning mohiyati, asosiy parametrlari va turli materiallar (germaniy, kremniy, galliy arsenidi va karbid kremniy) uchun etching eritmalari.
Elektrokimyoviy etching: Elektrokimyoviy etchingning asosiy tamoyillari, usullari va afzalliklari.
Kimyoviy-dinamik ishlov berish: Kimyoviy-dinamik ishlov berishning mohiyati, afzalliklari va uskunalar.