Ноанъанавий кириндилар билан легирланган кремний ва унинг асосидаги кўпқатламли структуралардаги номувозанатли жараёнлар
Ushbu kitob yarimo'tkazgichli materiallar fizikasiga, xususan, kremniy asosidagi tuzilmalardagi nomuvozanat jarayonlarni o'rganishga bag'ishlangan. Unda kremniyni notraditsion примеслар bilan легирлаш, уларнинг хоссаларига ташқи омилларнинг таъсири, шунингдек, металл-диэлектрик-яримутказгич (МДЯ) структураларидаги жараёнлар таҳлил қилинади.
Asosiy mavzular
- Notraditsion кириндилар билан легирланган кремний: Кремнийга ўтиш ва ноёб ер элементларини қўшишнинг таъсири, уларнинг электрик ва оптик хусусиятларини ўзгартириш механизмлари.
- МДЯ структураларидаги номувозанат жараёнлар: Диэлектрик ва яримутказгич хажмида зарядларнинг хосил булиши, уларнинг булиниш чегарасида ва Si-SiO2 утиш катламида электрон жараёнлар.
- Ташқи омилларнинг таъсири: Нурланиш, ҳарорат ва бошқа ташқи таъсирларнинг кремний ва кремнийли МДЯ структураларининг хусусиятларига таъсири.
- Ноанъанавий кириндиларнинг ўзаро таъсири: Ноанъанавий кириндиларнинг назоратсиз кириндилар билан таъсири жараёнлари.