Кремнийли структураларнинг электрофизик хусусиятларига zr, ti ва hf киришмаларининг таъсири
Ushbu hujjat kremniyli strukturalarning elektrofizik xususiyatlariga sirkoniy (Zr), titan (Ti) va gafniy (Hf) elementlari aralashmalarining ta'sirini o'rganishga bag'ishlangan tadqiqot avtoreferatidir. Unda tadqiqotning dolzarbligi, maqsad va vazifalari, ilmiy yangiligi va amaliy ahamiyati, himoyaga olib chiqilayotgan asosiy qoidalar keltirilgan. Shuningdek, tadqiqotning dissertatsiya bajarilgan ilmiy-tadqiqot muassasasi bilan bog'liqligi, muammoning o'rganilganlik darajasi, tadqiqot ob'ekti va predmeti, qo'llanilgan usullar, olingan natijalar, ularning ishonchliligi, ilmiy va amaliy ahamiyati, aprobatsiyasi va e'lon qilinishi haqida ma'lumot berilgan. Avtoreferatda tadqiqot natijalari asosida kremniyli strukturalarni yaratish va ularning xususiyatlarini yaxshilash bo'yicha xulosalar va tavsiyalar berilgan.
Asosiy mavzular
- Kremniy va kremniyli strukturalarda nuqson hosil bo'lish jarayonlarining xususiyatlarini tahlil qilish: Ushbu bobda turli tadqiqotchilar tomonidan olib borilgan ishlar tahlili keltirilgan, xususan qiyin eruvchan va nodir elementlar aralashmalari bo'lgan kremniyning elektrofizik xususiyatlari o'rganilgan. Shuningdek texnologik kirindilarning ta'siri va termoishlov berishning kremniy xususiyatlariga ta'siri ko'rib chiqilgan. Metall-dielektrik-yarimo'tkazgich tipidagi kremniyli strukturalar va Shottki diodlaridagi nuqsonlarning holati, yarimo'tkazgichlarda sig'im spektroskopiyasi xususiyatlari, p-n o'tishning sig'imi va haroratning o'zgarishi bilan chuqur sathlarning qayta zaryadlanishi kabi masalalar muhokama qilingan.
- Titan kichik guruhidagi kirindilarning kremniyning elektrofizik xususiyatlariga ta'siri: Ushbu bob qiyin eruvchi elementlarning kremniyning xususiyatlariga ta'sirini tadqiq qilishga bag'ishlangan. Qiyin eruvchi elementlar bilan legirlangan kremniyda nuqson hosil bo'lish jarayonlari, nodir yer elementlari va texnologik kirishmalar atomlarining o'zaro ta'siri, shuningdek kremniyning xususiyatlariga termik ishlov berishning ta'siri o'rganilgan.
- Titan kichik guruhidagi kirishmalarning MDI-strukturalar parametrlariga ta'siri effektlarini tadqiq qilish: Ushbu bobda MDI-struktura parametrlariga ba'zi qiyin eruvchi elementlarning ta'siri tadqiqotining natijalari keltirilgan. Titan bilan legirlangan n-Si taglikdagi MDI-strukturalarda CC-DLTS va VFH spektrlarini o'lchashning natijalari keltirilgan. Shuni ta'kidlab o'tamizki, hozirgacha kremniy taglikka kiritilgan Ti atomlarining MDI-struktura parametrlariga ta'siri haqidagi biror-bir ma'lumot yo'q. Shu sababli mazkur ishda ushbu bo'shliqni to'ldirishga hamda titan kirishmali kremniyli MDI-strukturalarning xususiyatlarini batafsil tadqiq qilishga harakat qilingan.
- Kremniyli strukturalarda titan kichik guruhining kirishmalarining termik va radiatsion nuqson paydo bo'lishi jarayonlariga ta'siri: Ushbu to'rtinchi bobda kremniy va kremniyli strukturalarga kiritilgan qiyin eruvchi elementlarning turli nuqsonlarning paydo bo'lish va qizdirish jarayonlariga ta'siri bo'yicha tadqiqotning natijalari keltirilgan. Kremniyli strukturalarda sirkoniy sathi past temperatura ta'sirida qizdirilganda vujudga keladigan kinetikasi o'rganilgan.