Lazerlarning mikroelektronikada qo’llanilishi
Ushbu kitob mikroelektronika sanoatida lazer texnologiyalarining qo'llanilishi, lazer qurilmalari, ularning tuzilishi va ishlash tamoyillari haqida ma'lumot beradi. Kitobda lazer nurlarining xususiyatlari, materiallarga ta'siri, turli lazer turlari (gazli, qattiq jismli, suyuqlikli, yarimo'tkazgichli, nanolazerlar) va ularning mikroelektronikada qo'llanilishi batafsil yoritilgan. Shuningdek, materiallarni lazerli kesish, payvandlash, parmalash, legirlash, kristallash kabi jarayonlar ham ko'rib chiqiladi.
Asosiy mavzular
- Lazer qurilmalari haqida umumiy ma'lumotlar: Optik kvant generatorlarining yaratilish tarixi, tavsifi, elektromagnit to'lqin chiqarilishi va yutilishidagi kvant jarayonlar, spektral chiziqlar kengligi va shakllari.
- Mikroelektronikada qo'llaniladigan lazerlarning tuzilishi va ishlash tamoyillari: Uglerod ikki oksidli lazer, argon gazi asosidagi lazer, yoqutli lazer, shisha asosli neodim lazerlar, ittiriy-alyuminiy granatli (IAG) lazerlar, arsenid galliyli va arsenid galliy-alyuminiyli lazerlar, nanolazerlar.
- Lazerlar va ularning mikroelektronikada qo'llanilishi: Lazerlarning mikroelektronikada qo'llanilishi haqida, materiallarni lazerli kesish va qizdirish, materiallarni lazerli payvandlash, materiallarni lazerli parmalash, lazerlar yordamida yarimo'tkazgichlarga ishlov berish.