ИССЛЕДОВАНИЕ МЕТОДОМ РОР ПРОФИЛЯ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ИОННО-ИМПЛАНТИРОВАННЫХ АТОМОВ Fe В Si

Ushbu maqola Rutherford backscattering (RSP) usuli yordamida kremniyga (Si) Fe atomlarini ion bilan implantatsiya qilish natijasida hosil bo'lgan taqsimot profillarini o'rganadi. Tadqiqotda implantatsiya dozasi va termik ishlov berish haroratining Fe va boshqa aralashmalar, xususan kislorodning taqsimlanishiga ta'siri ham o'rganilgan. RSP usulining dozalovchi aralashmalarning konsentratsiyasini va aralashmalar o'zaro ta'sirini tahlil qilishdagi imkoniyatlari ham ko'rsatib berilgan.

Asosiy mavzular

• Ion implantatsiyasi va Rutherford backscattering (RSP) usuli: Maqolada kremniyga (Si) Fe (temir) atomlarini ion bilan implantatsiya qilish jarayoni va bu jarayonni o'rganishda Rutherford backscattering (RSP) usulidan foydalanish haqida ma'lumot berilgan. RSP usuli aralashmalarning konsentratsiyasini va ular orasidagi o'zaro ta'sirlarni aniqlash uchun qo'llanilgan.
• Fe atomlarining Si tarkibidagi taqsimot profillari: Tadqiqotda Fe atomlarining kremniy kristali ichidagi taqsimot profillari implantatsiya dozasi va termik ishlov berish harorati kabi omillarga bog'liqligi o'rganilgan. Turli dozalar va haroratlarda Fe atomlarining konsentratsiyasi va chuqurlik bo'yicha taqsimlanishi tahlil qilingan.
• Termik ishlov berishning ta'siri: Maqolada termik ishlov berish jarayonining Fe va boshqa aralashmalarning, ayniqsa kislorodning kremniydagi taqsimotiga ta'siri o'rganilgan. Ishlov berish haroratining o'zgarishi bilan Fe atomlarining konsentratsiyasi va fazalar hosil bo'lishi qanday o'zgarishi ko'rsatilgan.
• Aralashmalar o'zaro ta'siri: Maqolada Fe va boshqa aralashmalar, jumladan kislorodning kremniy kristali ichidagi o'zaro ta'siri ham tadqiq qilingan. RSP usulining bu o'zaro ta'sirlarni o'rganishdagi qo'llanilishi haqida fikr bildirilgan.