ВЛИЯНИЕ ТЕРМООТЖИГА НА СОСТОЯНИЕ ИОННО-ИМПЛАНТИРОВАННЫХ АТОМОВ Mn В Si
Ushbu maqola kremniyga Mn ionlarini implantatsiya qilish va keyinchalik termik ishlov berishning ta'sirini o'rganish natijalarini keltiradi. Tadqiqotda Ruterfordning orqaga sochilish (POP) usulidan foydalanilgan. Tadqiqotlar shuni ko'rsatdiki, Mn implantatsiyasi va termik ishlov berish kremniy kristall panjarasidagi Mn va kislorodning tarqalishiga ta'sir qiladi. Aniqlanishicha, Mn atomlari kremniy atomlari bilan o'zaro ta'sirlashib, ularning joylashuvini o'zgartirishi mumkin. Termik ishlov berish esa bu ta'sirni kuchaytiradi va Mn ning kristall panjarasidagi tarqalishini o'zgartiradi. Ushbu tadqiqot natijalari yarim o'tkazgich texnologiyasida qo'llaniladigan Mn implantatsiyasi va termik ishlov berish jarayonlarini tushunish uchun muhim ahamiyatga ega.
Asosiy mavzular
- Ion implantatsiyasi va uning kremniyga ta'siri: Maqolada kremniyga Mn ionlarini implantatsiya qilish jarayoni va uning natijalari haqida ma'lumot berilgan. Ion implantatsiyasi yordamida kremniyning yuza qatlamiga ma'lum bir elementni kiritish mumkinligi va bu orqali materialning elektr xususiyatlarini o'zgartirish mumkinligi tushuntirilgan.
- Termik ishlov berishning ta'siri: Tadqiqotda termik ishlov berishning Mn va boshqa aralashmalarning (xususan, kislorod) kremniydagi tarqalishiga ta'siri o'rganilgan. Turli haroratlardagi termik ishlov berish Mn atomlarining chuqurlik bo'yicha taqsimlanishiga qanday ta'sir qilishini ko'rsatadigan grafiklar keltirilgan.
- Ruterfordning orqaga sochilish (POP) usuli: Maqolada Ruterfordning orqaga sochilish (POP) usulining kremniy yuzasida implantatsiya qilingan Mn va boshqa aralashmalarining kontsentratsiyasini aniqlash uchun qo'llanilishi haqida so'z boradi. Bu usulning afzalliklari va boshqa usullar bilan solishtirilganda uning samaradorligi ta'kidlangan.
- Aralashmalar o'zaro ta'siri: Maqolada Mn va kislorodning bir-biriga o'zaro ta'siri ham ko'rib chiqilgan. Mn ning ko'payishi kislorodning kamayishiga olib kelishi, shuningdek, Mn va kislorodning kremniy kristall panjarasidagi o'zaro munosabatlari tahlil qilingan.