ВЛИЯНИЕ ТЕРМООТЖИГА НА СОСТОЯНИЕ ИОННО-ИМПЛАНТИРОВАННЫХ АТОМОВ Mn В Si
Ushbu tadqiqot maqolasi kremniy (Si) kristalliga ionli implantatsiya qilingan marganets (Mn) atomlarining holati va ularning termik ishlov berish ta'sirini o'rganadi. Tadqiqotda Rutherford orqaga sochilish (ROP) usuli yordamida Mn va boshqa aralashmalar, xususan, kislorodning konsentratsiyasini chuqurlik bo'yicha taqsimlanishi o'rganildi. Turli implantatsiya dozalari va termik ishlov berish haroratlarining ta'siri tahlil qilindi. Natijalar shuni ko'rsatdiki, marganets va kislorodning taqsimlanishi bir-biriga bog'liq bo'lib, marganetsning konsentratsiyasi yuqori bo'lgan joylarda kislorod kamayadi va aksincha. Shuningdek, ROP usulining aralashmalar konsentratsiyasini va ularning o'zaro ta'sirini aniqlashdagi samaradorligi ta'kidlangan.
Asosiy mavzular
- Marganets (Mn) implantatsiyasining kremniydagi (Si) taqsimlanishi: Maqolada turli dozalarda ionli implantatsiya qilingan marganets atomlarining kremniy kristallaridagi chuqurlik bo'yicha taqsimlanish profillari ROP usuli yordamida o'rganildi. Taqsimlanish ko'pincha Gauss funksiyasi bilan tavsiflanadi va implantatsiya dozasi oshgan sari o'rtacha chuqurlik biroz o'zgaradi.
- Termik ishlov berishning ta'siri: Tadqiqotda termik ishlov berishning, xususan, 600°C va 900°C haroratlarda kremniydagi marganets va kislorodning taqsimlanishiga ta'siri o'rganildi. Termik ishlov berish Mn taqsimlanishining chuqurligini o'zgartiradi va ba'zan uning konsentratsiyasini ham o'zgartiradi. Kislorodning kamayishi va marganetsning ko'payishi kuzatiladi.
- Marganets va kislorodning o'zaro ta'siri: Maqolada marganets va kislorod taqsimlanish o'rtasidagi bog'liqlik ta'kidlanadi. Marganetsning konsentratsiyasi yuqori bo'lgan chuqurliklarda kislorod kontsentratsiyasi kam bo'ladi. Bu holat marganets ionlari kislorodni itarib chiqarishi yoki uning o'rnini egallashi mumkinligini ko'rsatadi.
- ROP usulining qo'llanilishi: Tadqiqotda ROP usulining aralashmalar konsentratsiyasini chuqurlik bo'yicha aniqlash va ularning o'zaro ta'sirini o'rganishdagi samaradorligi ko'rsatib o'tilgan. Bu usulning aniqligi va imkoniyatlari ta'kidlangan.