СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ И УПРАВЛЕНИЯ ДОСТУПОМ

Ushbu kitobda "Yettinchi Xalqaro Fizik Elektronika Konferensiyasi" doirasida taqdim etilgan ma'ruzalar to'plami keltirilgan. Asosiy e'tibor "Bo'sh Katlamli Si-Cu Strukturalarining Si-Cu Tarkibi va Xususiyatlariga Co+ Ionlari Implantatsiyasining Ta'siri" mavzusiga qaratilgan. Tadqiqotda Si-Cu (100) geterofilmning yuzasi va atom taqsimotining chuqurlik profillari ustida Co+ ionlari implantatsiyasining ta'siri o'rganilgan. Ishda Si vakuum kameralarida gazdan tozalash jarayoni, Sining kislorod va uglerod bilan ifloslanishi, shuningdek, bu ifloslanishning jonli implantatsiya natijasida kamayishi haqida ma'lumot berilgan. Ta'kidlanishicha, Co+ ionlari bilan bombardimon qilish va keyingi termik ishlov berish CoSi2 nanoplankalari hosil bo'lishiga olib keladi. Kitobda Si-Cu pleankalari ning fizik parametrlari, jumladan, Si-Cu hosil bo'lish harorati, CoSi2 hosil bo'lish harorati, Co+ ionlarining Si ga kirib borish chuqurligi, Cu diffuziya chuqurligi va CoSi2 pleankalari qalinligi haqida ma'lumotlar jadval ko'rinishida keltirilgan.

Asosiy mavzular

• Co+ Ionlari Implantatsiyasining Bo'sh Katlamli Si-Cu Strukturalarining Tarkibi va Xususiyatlariga Ta'siri: Maqolada Si-Cu (100) geterofilmlarining yuzasi va chuqurlik profillari ustida Co+ ionlari implantatsiyasining ta'siri o'rganiladi. Tadqiqot natijalari shuni ko'rsatadiki, Si vakuumda gazdan tozalangandan so'ng yuzada kislorod va uglerod borligi aniqlangan. Ion implantatsiyasidan keyin bu ifloslanishning sezilarli darajada kamayishi kuzatilgan. Shuningdek, Co+ ionlari bilan bombardimon qilish va keyingi termik ishlov berish natijasida CoSi2 nanoplankalari hosil bo'lishi aniqlangan.
• Si-Cu Pleankalari Fizik Parametrlari: Kitobda Si-Cu pleankalari ning jonli implantatsiyadan oldin va keyin o'lchangan ba'zi fizik parametrlari keltirilgan. Bularga Cu2Si3 tarkibli pleankalarning hosil bo'lish harorati, CoSi2 ning hosil bo'lish harorati, Co+ ionlarining Si ichiga kirib borish chuqurligi, Cu diffuziyasining chuqurligi va CoSi2 pleankalari ning qalinligi kiradi. Ushbu ma'lumotlar jadval shaklida taqdim etilgan.