АРСЕНИД ГАЛЛИЙ ЯРЫМӨТКИЗГИШЛИ ӘСБАПЛАРДЫҢ ЭЛЕКТРОФИЗИКАЛЫҚ ПАРАМЕТРЛЕРИНЕ ИМПУЛЬСЛИ ЛАЗЕРИНИҢ ТӘСИРИН ҮЙРЕНИЎ
Ushbu doktorlik dissertatsiyasi yarim o'tkazgichli materiallarning lazer nurlanishiga ta'sirini, xususan, GaAs materiallarining optik va elektr xususiyatlariga ta'sirini o'rganishga bag'ishlangan. Tadqiqotda lazer nurlanishining materiallar tuzilishi va elektr xususiyatlariga ta'siri, shuningdek, bu effektlarning sensorlar va boshqa yarim o'tkazgichli asboblar ishlab chiqarishda qo'llanilishi masalalari ko'rib chiqilgan. Dissertatsiyada tajribalardan olingan natijalar tahlil qilinib, lazer nurlanishining materiallarning xususiyatlarini yaxshilash yoki o'zgartirishdagi roli ko'rsatib berilgan. Tadqiqot, shuningdek, mikrosxemalar va yarim o'tkazgichli qurilmalar ishlab chiqarish uchun yangi texnologiyalarni rivojlantirishga qaratilgan.
Asosiy mavzular
- Yarim o'tkazgichli materiallarga lazer nurlanishining ta'siri: Bu mavzuda yarim o'tkazgichli materiallarning lazer nurlanishi ostida o'zgarishi, jumladan, optik va elektr xususiyatlarining o'zgarishi, reaksiyalar va jarayonlar tahlil qilinadi. Xususan, GaAs materiallarining lazer nurlanishidan keyingi tuzilishi va elektr o'tkazuvchanligi o'rganilgan.
- Shottki diodlarining volt-amper xususiyatlariga ultratovush ta'siri: Bu qismda Shottki diodlarining ultratovush ta'sirida volt-amper xususiyatlarining o'zgarishi va bu o'zgarishlarga sabab bo'ladigan mexanizmlar o'rganilgan. Ultratovushning diodlarning elektr xususiyatlariga ta'sirini tahlil qilish asosiy masala hisoblanadi.
- GaAs materiallarida lazer yordamida kontakt hosil qilish: Mavzu yarim o'tkazgichli materiallarda, xususan, GaAs da yuqori haroratda Omlik kontaktlarni hosil qilish uchun lazer yordamida ishlov berish usullarini o'rganadi. Bu usullarning afzalliklari va qo'llanilishi masalalari ko'rsatib berilgan.