Qattiq jism sirt fizikasi fani bo’yicha elektron qo’llanma yaratish

Ushbu kitob yarim o'tkazgichlar sirti fizikasiga bag'ishlangan bo'lib, unda sirt hodisalari, sirt tuzilishi, elektron holatlari, adsorblanish jarayonlari va sirtning elektr o'tkazuvchanligi kabi mavzular batafsil yoritilgan. Kitob materialshunoslik, elektronika va mikroelektronika sohalarida tahsil olayotgan talabalar, magistrlar va doktorantlar uchun mo'ljallangan.

Asosiy mavzular

Sirt fizikasi va zamonaviy mikroelektronika: Sirt tushunchasi, sirt fizikasining asoschilari, zamonaviy mikroelektronikadagi roli, sirt hodisalarining termodinamikasi va turlari, sirt holatlarini to'lish statistikasi.
Toza sirt olish usullari: Changlatish, katalitik reaksiyadan foydalanish, sinish usuli kabi toza sirt olish usullari batafsil bayon etilgan.
Sirt taranglik va sirtning erkin energiyasi: Suyuqliklar va qattiq jismlar uchun sirt taranglik va erkin energiya tushunchalari, nobirjinslilik turlari, fizik nobirjinslilikni tushuntirish uchun nuqsonlar va dislokasiyalar, kimyoviy nobirjinslilik.
Adsorbatlarning sirt xossalariga ta'siri: Adsorbsiya-desorbsiya jarayonlari, gaz molekulalarining qattiq jism sirti bilan to'qnashuvi, potensial o'raning pastki sathiga molekulaning o'tishi.
Yarimo'tkazgich sirtidagi hodisalar: Sirt hodisalari tog'risida umumiy tushunchalar, sirtdagi elektron holatlar nazariyasi va turlari, fazoviy zaryad qatlami va sirt elektr o'tkazuvchanligi.
Sirt tuzilish nuqsonlarining adsorblashdagi o'rni: Sirt nuqsonlari va ularning xossalari, nuqsonlarning adsorbsiya jarayonlariga ta'siri, sirtning bir jinsli emasligi adsorblash natijasida tekislanishi.
Sirt o'tkazuvchanligini o'lchash: Sirt o'tkazuvchanligini aniqlash imkoniyatini beradi, elektroakslanish, sirt foto EYuKsi, ikkitali qatlam sig'imini o'lchash.
Ellipsometriya: Usul asosida optik akslanishga tasir qiluvchi sirt xossalarini tadqiq etish yotadi, parametrlarini sirtda juda yupqa qatlam bo'lishiga o'ta sezgirlik usulning sirt tadqiqotida qo'llanilishining asosida yotadi.
Ion sochilish usuli: Namunani yengil ionlar to'plami bilan nurlantirish, so'ngra katta burchakka qayshqoq sochilgan ionlarning energetik spektrini qayd qilishga asoslanadi. Usulning fizik asosi, energetik spektrini qayd qilishga asoslanadi.
Adsorbsion qatlam va sirtiy kimyoviy reaksiyalarni o'rganish usuli: Spektroskopiya, akslanuvchi ellipsometriya, akslanuvchi infraqizil spektroskopiya.
Yarimo'tkazgich sirtidagi kinetik hodisalar: Sirt hodisalari tyg avvalo sirtdagi zaryadlar harakatchanlanligiga bog'liq, xoll hodisasi, sirtning tuzilish nuqsonlarining adsorblashdagi o'rni.