Cтруктура и свойства тонких наноразмерных пленок СoSi2, полученных на поверхности кремния при молекулярнр-лучевой эпитакции атомов Cо и Si.
Ushbu kitob elektronika, avtomatika, axborot texnologiyalari va axborot xavfsizligi masalalariga bag'ishlangan. Unda yarimo'tkazgichli materiallar va nanostrukturalarning xususiyatlari, molekulyar-nurli epitaksiya usuli bilan olingan CoSi2 ingichka plyonkalarining tuzilishi va xossalari, shuningdek, turli materiallarning geterostrukturalarini yaratish imkoniyatlari ko'rib chiqiladi.