Yarimo`tkazgich moddalarni strukturaviy tadqiq qilish usullarini tahlil qilish
Ushbu kitob yarimo'tkazgich materiallari va ular asosidagi geterostrukturalarning tuzilishi, xossalari va tadqiqot usullarini o'rganishga bag'ishlangan. Kitobda yarimo'tkazgichlarning kristall tuzilishi, geterostrukturalar, modda strukturasini tadqiq qilish usullari (rentgen difraktometriya, mass-spektrometriya, Oje spektroskopiyasi) batafsil yoritilgan. Shuningdek, turli xil strukturalarni (SiGe, AlGaAs) tahlil qilishda ushbu usullarning qo'llanilishi ko'rib chiqiladi. Kitob yarimo'tkazgich materialshunosligi va mikroelektronika sohasida ilmiy izlanishlar olib borayotgan talabalar, aspirantlar va mutaxassislar uchun mo'ljallangan.