ВЛИЯНИЕ ТЕРМООТЖИГА НА СОСТОЯНИЕ ИОННО-ИМПЛАНТИРОВАННЫХ АТОМОВ Mn В Si
Ushbu tadqiqot maqolasi kremniy (Si) kristalliga ionli implantatsiya qilingan marganets (Mn) atomlarining holati va ularning termik ishlov berish ta'sirini o'rganadi. Tadqiqotda Rutherford orqaga sochilish (ROP) usuli yordamida Mn va boshqa aralashmalar, xususan, kislorodning konsentratsiyasini chuqurlik bo'yicha taqsimlanishi o'rganildi. Turli implantatsiya dozalari va termik ishlov berish haroratlarining ta'siri tahlil qilindi. Natijalar shuni ko'rsatdiki, marganets va kislorodning taqsimlanishi bir-biriga bog'liq bo'lib, marganetsning konsentratsiyasi yuqori bo'lgan joylarda kislorod kamayadi va aksincha. Shuningdek, ROP usulining aralashmalar konsentratsiyasini va ularning o'zaro ta'sirini aniqlashdagi samaradorligi ta'kidlangan.